Fabricant chinois de compresseurs de bromure d'hydrogène de haute pureté pour la fabrication de semi-conducteurs
Avantages du compresseur à membrane à bromure d'hydrogène
Garantie sans huile et sans fuite
Le diaphragme métallique unique isole physiquement et complètement le gaz de procédé du système hydraulique, permettant une compression 100 % sans huile. L'ensemble de la chambre à gaz est doté d'une structure à joint statique, éliminant ainsi tout risque de fuite de bromure d'hydrogène ou de pénétration d'impuretés externes, et répondant parfaitement aux exigences de pureté extrêmement élevées de la gravure de semi-conducteurs et d'applications similaires.
Plateforme intrinsèquement sûre et résistante à la corrosion
Tous les composants en contact avec le fluide peuvent être fabriqués à partir d'alliages de haute qualité résistants à la corrosion. Le gaz n'entre en contact qu'avec des surfaces anticorrosion soigneusement sélectionnées, évitant ainsi les problèmes complexes de corrosion et d'usure liés aux joints dynamiques des compresseurs alternatifs. Il en résulte une durée de vie prolongée des équipements et des intervalles de maintenance considérablement espacés.
Points clés de conception d'un compresseur à membrane de bromure d'hydrogène
Sélection des matériaux pour les pièces en contact avec le fluide
Tous les composants en contact avec le bromure d'hydrogène, notamment la tête de diaphragme, la culasse, les vannes de gaz, la tuyauterie interne et les brides, doivent être fabriqués dans des matériaux résistants à la corrosion par l'acide bromhydrique. L'acier inoxydable SS316L est le choix de base. Dans des conditions extrêmes, avec une forte humidité ou la présence d'autres impuretés oxydantes, il est nécessaire d'évaluer et d'opter pour un acier inoxydable duplex ou des alliages à base de nickel. Tous les composants en acier inoxydable doivent présenter une surépaisseur suffisante pour la corrosion (généralement d'au moins 2 mm) et faire l'objet d'un dégraissage, d'un nettoyage et d'un traitement de passivation complets.
Surveillance du diaphragme et de la rupture
La membrane est l'élément essentiel à l'isolation et à l'étanchéité. Il est impératif de choisir des matériaux présentant une excellente résistance à la corrosion en milieu bromuré et une haute résistance à la fatigue, tels que des alliages spéciaux comme l'Inconel 718. Une structure standard à trois couches, équipée d'un dispositif d'alarme de rupture, est requise. En cas de rupture de la membrane centrale, le capteur de pression déclenche immédiatement une alarme de maintenance, tandis que la membrane extérieure assure l'étanchéité, garantissant ainsi une double protection.
Système de surveillance et de décharge de sécurité
Les gaz d'échappement contenant du bromure d'hydrogène provenant de la soupape de sécurité ne doivent jamais être rejetés directement dans l'atmosphère ni brûlés à la torchère ; ils doivent être dirigés vers un laveur de gaz caustique dédié pour traitement de neutralisation. Une sonde fixe de détection de bromure d'hydrogène doit être intégrée au châssis du compresseur afin de surveiller en temps réel la concentration ambiante et d'être reliée au système de ventilation. Simultanément, une surveillance continue du débit d'eau de refroidissement, de la pression d'huile, ainsi que des pressions et températures à chaque étage doit être effectuée, avec une logique complète d'alarme et d'arrêt d'urgence configurée.
Certificat
Sélection du modèle
| ModèleG70Z/G95Z/G110Z/G130Z | Course du piston70 mm ~ 130 mm | Force maximale du piston10 kN à 30 kN |
| Pression de refoulement maximale70 MPa | Plage de débit1 à 500 Nm³/h | Puissance du moteur2,2 kW à 30 kW |
| Vitesse du vilebrequin420 tr/min | Méthode de refroidissementRefroidissement par eau/refroidissement par air | |
| ModèleG70V/G95V/G130V | Course du piston70 mm ~ 130 mm | Force maximale du piston10 kN à 30 kN |
| Pression de refoulement maximale50 MPa | Plage de débit1 à 200 Nm³/h | Puissance du moteur2,2 kW à 30 kW |
| Vitesse du vilebrequin420 tr/min | Méthode de refroidissementRefroidissement par eau / Refroidissement par air | |
| ModèleG110L/G130L | Course du piston110 mm ~ 130 mm | Force maximale du piston20 kN~40 kN |
| Pression de refoulement maximale100 MPa | Plage de débit10 à 1000 Nm³/h | Puissance du moteur7,5 kW à 90 kW |
| Vitesse du vilebrequin420 tr/min | Méthode de refroidissementRefroidissement par eau / Refroidissement par air | |
| ModèleG110D/G130D/G150D/G180D/G182D/G210D | Course du piston110 mm ~ 210 mm | Force maximale du piston20 kN ~ 160 kN |
| Pression de refoulement maximale100 MPa | Plage de débit30 à 2000 Nm³/h | Puissance du moteur22 kW ~ 200 kW |
| Vitesse du vilebrequin420 tr/min | Méthode de refroidissementRefroidissement par eau / Refroidissement par air | |
| Non. | Modèle | eau de refroidissement | Couler | Pression d'entrée | Pression de sortie | Dimensions L×l×H | Poids | Puissance du moteur |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| (L/h) | (Nm³/h) | (MPa) | (MPa) | (≈mm) | (≈kg) | (kW) | ||
| 1 | GZ-30/5-10 | 500 | 30 | 0,5 | 1 | 1400×740×1330 | 700 | 3 |
| 2 | GZ-12/0,5-8 | 500 | 12 | 0,05 | 0,8 | 1500×760×1200 | 750 | 4 |
| 3 | GZ-30/0,15-5 | 1000 | 30 | 0,015 | 0,5 | 1200×900×1200 | 800 | 7,5 |
| 4 | GV-30/1-3 | 1000 | 30 | 0,1 | 0,3 | 1400×900×1200 | 900 | 7,5 |
| 5 | GV-120/3,5-12 | 2000 | 120 | 0,35 | 1.2 | 2030×1045×1700 | 2200 | 22 |
| 6 | GV-120/3,5-12 | 2000 | 120 | 0,35 | 1.2 | 2030×1045×1700 | 3000 | 22 |
| 7 | GL-30/21 | 4200 | 30 | Atmosphérique | 2.1 | 2200×1700×1800 | 2600 | 11 |
| 8 | GL-60/0,05-4 | 4000 | 60 | 0,005 | 0,4 | 2400×1800×1600 | 3000 | 15 |
| 9 | GL-150/0,3-5 | 2000 | 150 | 0,03 | 0,5 | 3230×1770×2200 | 3000 | 18,5 |
| 10 | G130D-278/1.1-3 | 2000 | 278 | 0,11 | 0,3 | 3000×2000×1800 | 4000 | 22 |
| 11 | GD-600/1,5-5 | 5000 | 600 | 0,15 | 0,5 | 3500×2300×1800 | 4500 | 45 |
| 12 | GD-1306/6-12 | 8000 | 1306 | 0,6 | 1.2 | 3800×2300×1800 | 6000 | 75 |
ÉTUDE DE CAS
